[21p-C309-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[21p-C309-4] 電子エネルギー損失分光法によるPZT薄膜の結合状態の分析

〇木口 賢紀¹、清水 匠²、粟飯原 雅矢²、白石 貴久¹、今野 豊彦¹ (1.東北大金研、2.東北大院工)

キーワード：Pb(Zr,Ti)O3、組成相境界、電子エネルギー損失分光法

MPB組成におけるPZTの共存相の結晶構造は、結晶学的には異なる対称性を持つが、その原子位置の違いは微小であるために結像による判別は難易度が高い。演者らは、対称性の変化に対してPb6p-O2p間、Zr4d/Ti3d-O2p間の軌道混成状態や結晶場が顕著に変化することを電子エネルギー損失分光法によって明らかにした。本講演では、STEM-EELS法によりPZTのMPB組成域で共存する結晶相の種類やZr/Ti組成比の変化による結合状態の変化を詳細に解析し、化学結合の立場からMPB構造解析の可能性について報告する。