13:30 〜 13:45 [9p-W323-1] 衝突輻射モデルに基づく発光分光計測による低気圧マイクロ波放電Arプラズマの電子温度・密度診断 〇山崎 文徳1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東京工業大学)