15:00 〜 15:15 [9p-S422-3] 1Si融液から切り離した結晶中の点欠陥分布の観察(1)-DLTSによる各優位領域の空孔濃度- 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1、白井 光雲2 (1.信越半導体、2.阪大産研)
15:15 〜 15:30 [9p-S422-4] Si融液からの切り離しによる点欠陥分布の観察(2)-冷却過程で発生する格子間原子の分布- 〇阿部 孝夫1、高橋 徹1、白井 光雲2 (1.信越半導体、2.阪大産研)