16:00 〜 16:15 △ [9p-W323-10] シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析 〇(D)森山 誠1、三矢 晶洋1、中原 尚哉1、鈴木 陽香1、豊田 浩孝1 (1.名大工)