15:00 〜 15:15 [11p-W541-7] スパッタ法と高温アニールによるa面サファイア上c面AlNの作製 〇林 侑介1、藤川 海人2、上杉 謙次郎3、正直 花奈子2、三宅 秀人1,2 (1.三重大院地域イノベ、2.三重大院工、3.三重大地域創生戦略企画室)