11:45 〜 12:00 [9a-M114-12] 局所クリーン化ミニマル環境コントロールシステム-PLAD (Ⅲ) 〇谷島 孝1,2、三浦 典子1、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研)