11:15 〜 11:30 [11a-S011-9] 【注目講演】水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法による(010)面 b-Ga₂O₃の高アスペクト異方性エッチング 〇大江 優輝1、生江 祐介1、松岡 明裕1、川崎 祐生1、伊藤 大智1、森谷 祐太1、富樫 理恵1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大・理工、2.上智大ナノテクセンター)