11:00 〜 11:15 [10a-M121-8] AlGaInN/AlGaNヘテロ構造の光電気化学エッチング 〇小松 祐斗1、植村 圭佑1、細見 大樹2、三好 実人2、佐藤 威友1 (1.北大量集セ、2.名工大)