09:30 〜 11:30 [11a-PA5-4] c-C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価c-C4F8/SiF4混合凝縮層の電子励起によるa-C:Fの低温合成と物性評価 〇(M1)三谷 隼弘1、佐藤 哲也1、塩澤 佑一朗2、上垣 良信2 (1.山梨大・院、2.山梨県産技セ)