14:15 〜 14:30 [11p-M136-5] シリコン同位体ナノピラー構造中における酸化増速自己拡散のアトムプローブ観測 〇木我 亮太郎1、林 彩弥佳1、宮本 聡1、清水 康雄2、永井 康介2、遠藤 哲郎3,4、伊藤 公平1 (1.慶大理工、2.東北大金研、3.東北大CIES、4.JST-ACCEL)