16:15 〜 16:30 [9p-S011-10] X線トポグラフによるβ-Ga2O3基板の転位評価 〇中居 克彦1、野網 健悟1、二木 登史郎1、大葉 悦子2、干川 圭吾3 (1.日鉄住金テクノロジー、2.不二越機械工業、3.信州大学)