■露光装置 ■Micro MC機 ■インクジェット

■深紫外ラマン分光装置、Taccor Com Ti:Sapphire繰返し1GHz: OPCPA

Wave optical simulation software VirtualLab, Multiphysics analysis software OOFELIE

■【新製品】高出力レーザ加熱型単結晶育成装置（Laser FZ furnace）
■QD社製 無冷媒シリーズ（MPMS3、PPMSシリーズ）
■液体ヘリウムリカバリー装置
■DMO社製 小型LED直接描画装置・超高感度カー効果測定装置
■SwissLitho社製 サーマル走査プローブ描画装置
■RHK社製 無冷媒型極低温AFM/STM
■GETec社製 原子間力走査型電子顕微鏡：AFSEM
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EUV/X-ray detectors, EUV/X-ray optics, ceramic tubes

Black Phosphorus

RHEED Gun & Power Supply, Analytical RHEED System, in-situ wafer Temp

■inVia Qontor ラマンイメージングシステム

X-ray Diffractometer, 2D Hybrid Pixel Array Detector

■大気中光電子分光装置 AC-5
■ポータブルX線回析装置 DF-01
■ポケッタブル マルチガスモニター

cryostat, positioner, displacement sensor, fluxgate sensor, magnetic camera, arbitrary waveform generator

■加熱・冷却型小型プローバー

■スプレーコーター ■マスクアライメント露光装置 ■ウェットエッチャー

■卓上型小型真空蒸着装置SVCシリーズ
■小型スパッタ装置SCシリーズ

■材料開発向けプログラムパッケージ：Materials Science Suite
■第一原理バンド計算プログラム：Quantum Espresso ab intio
■量子計算プログラム：Jaguar
■配座解析プログラム：MacroModel
■分子動力学計算プログラム：Desmond
■統計解析プログラム：Canvas, AutoQSAR

■ナノディップコーター：ND-0407-S5 ■マイクロスピードディップコーター：MD-0408-S7

■超高真空PVD/PLD/MBE成膜装置 ■SiC結晶欠陥観察　PLイメージング装置 ■非接触キャリア濃度測定　テラヘルツエリプソメーター ■ＣＭＰパッド再生　再盛エコパッド ■デジタル画像相関法 ひずみ解析システム sDIC ■SEM用粒子解析ソフトウェア ■SEM用ナノインデンター用ナノインデンター

■分光エリプソメーター ■FTIR ■ライフタイム測定装置 ■DLTS ■半導体検査装置 ■CV測定装置

1nm Feedback Stage System, Vacuum 1nm Feedback Stage, 10nm Feedback Stage System