■ナノ材料解析統合GUI　Advance/NanoLabo ■第一原理計算ソフトウェア　Advance/PHASE

Semiconductor type microwave transmitter, Microwave power supply unit

Introduction of AIST Open Research Facilities station

Atomic Layer Deposition (ALD) System for substrates and powder (Manufacturer: Anric Technologies, CN1 and Delft IMP (for powder)) , QCM Film Thickness Monitor for Evaporation and ALD process (Max. ...

X-ray Flat Panel Detector, X-ray/Gamma-ray Spectrometer, PreAmp, Multi-Channel Analyzer

■１. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置
■2. 真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等）
■３. 複合型PLD/MBE蒸着装置
■４. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

Sample copies of APEX and JJAP

■各種レーザー ■光変調器 ■ステージ ■各種光学部品（高品質、低価格）

Probe Station

■真空機器 ■暗視高感度カメラ ■ALD装置、他

nGauge AFM, Xi series(IR camera)

■マスクレス露光機（LED顕微鏡露光ユニット）

■近赤外線InGaAsカメラ ■近赤外線InGaAs/GaAsSbカメラ ■近赤外線CMOSカメラ

■光反応用LED光源など

Sample items (parts, sensors, etc.)

■ファインガラスカッター・アルタイル ■ペロブスカイト太陽電池用実験用器具

■AFM（原子間力顕微鏡）、ナノインデンテーションシステム及び、X線回折装置、半導体プロセス向け測定装置のご紹介

UV-LED

Material Development by Combinatorial Technology and the Combinatorial Sputtering System