PDF ダウンロード スケジュール 11 いいね! 0 コメント (0) 11:30 〜 11:45 [10a-M114-10] スパッタSi薄膜のµCLBS法による単結晶帯形成 〇小柳 樹1、白川 俊樹1、平末 充紀1、葉 文昌1 (1.島根大総合理工) キーワード:スパッタ法、レーザーアニール、Si薄膜 スパッタ法でSi膜を堆積し、μCLBA法でラテラル成長を実現した。それを用いてTFTを作成し、特性を調べた。