[10a-S224-1~8] 7.5 イオンビーム一般

[10a-S224-6] Laser-SNMSを用いたバナジウムの共鳴イオン化に関する研究

〇清川 圭^1,2、森田 真人²、趙 越²、柴田 祐樹¹、田口 宗孝¹、坂本 哲夫² (1.東芝ナノアナリシス、2.工学院大学)

キーワード：中性粒子質量分析、レーザ共鳴イオン化、バナジウム

Laser-SNMSは、一次イオン照射によりスパッタされた中性粒子をレーザーによりイオン化して検出する手法である。また、物質固有のエネルギー準位と一致する波長のレーザーを用いる共鳴イオン化は、選択性良くイオンを検出できる。本研究報告では、3d軌道を最外殻電子として持つ遷移金属であるバナジウムについて、自動調整式の広帯域波長可変型チタンサファイアレーザーを用いたLaser-SNMSにて共鳴イオン化を調査した結果を報告し、その考察を行う。