[10a-S321-1~13] 1.3 Novel technologies and interdisciplinary engineering

[10a-S321-9] Development of hydrogen detection method using a membrane-type surface stress sensor

〇Taro Yakabe¹, Gaku Imamura², Genki Yoshikawa³, Akiko Itakura¹ (1.RCAMC NIMS, 2.MANA NIMS, 3.RCSF NIMS)

Keywords:hydrogen sensor

我々は膜型表面応力センサ（MSS）を用いて水素検出を試みた。水素吸蔵合金をMSSの感応膜とすることで水素を検出することが可能であった。水素濃度で4%～ppmオーダーを測定可能であった。