[10p-M103-1~7] カーボン系材料プラズマプロセスの現状と課題

△ [10p-M103-6] リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンのlayer-by-layerエッチング過程のその場透過電子顕微鏡観察

〇杉浦 啓嗣¹、近藤 博基¹、樋口 公孝²、荒井 重勇²、堤 隆嘉¹、石川 健治¹、堀 勝³ (1.名大院工、2.名大未来材料・システム研究所、3.名大未来社会創造機構)

キーワード：グラフェン、エッチング、In-situ 透過電子顕微鏡

グラフェンはその層数によって特異的な光学的透過率、キャリア移動度などの特徴を示す。したがって、グラフェンの層数制御はグラフェンのデバイス作成のために重要な課題である。層数制御方法として酸素プラズマエッチングが報告されているが、そのエッチング機構は未だ明らかとなっていない。精密な層数制御のためには、エッチング機構の解明が必要である。そこで本報告ではエッチング機構の解明に向け、透過電子顕微鏡(TEM)内でプラズマ照射を行うことが可能なサンプルホルダーを独自に開発し、リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンのlayer-by-layerエッチングのその場TEM観察を行った。