[10p-M112-1~7] 7.1 X-ray technologies

[10p-M112-5] Global Optimization Technique of Two-Glazing-Incidence-Mirror Objective for Soft-X-ray Focusing Applications (2)

〇(B)Shota Yamashita¹, J. Chen¹, M. Toyoda¹ (1.Tokyo Polytechnic Univ.)

Keywords:multilayer mirror, geometric optics, aberration theory

対物光学系の開発では、見出した低収差解で得るスポットサイズを定量的に求める必要がある。本講演では、先に見出した設計解群で得るスポットサイズを数値解析で求めた結果を報告する。メリジオナル面１次元集光に着目し、スポットサイズを計算・最適化するソフトウエアを光学設計CAD, Code-Vのマクロ機能を用いて開発した。