[10p-M112-1~7] 7.1 X線技術

[10p-M112-5] 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索(2)

〇(B)山下 正汰¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大工)

キーワード：多層膜ミラー、幾何光学、収差論

対物光学系の開発では、見出した低収差解で得るスポットサイズを定量的に求める必要がある。本講演では、先に見出した設計解群で得るスポットサイズを数値解析で求めた結果を報告する。メリジオナル面１次元集光に着目し、スポットサイズを計算・最適化するソフトウエアを光学設計CAD, Code-Vのマクロ機能を用いて開発した。