[10p-PA5-1~13] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[10p-PA5-2] Development of atomic hydrogen detector using metal oxide thin film

〇Tomoki Okumura¹, Koki Watanabe¹, Tatuya Kuzumi¹, Yuji Shimabukuro¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha Univ.)

Keywords:semiconductor

酸化ニッケルはサーミスタとして安価かつ容易に入手可能であるが，本研究ではFig.1に示した装置で，水蒸気とアルゴンの混合プラズマを利用して薄膜を作製する．水素原子の照射試験については， 熱解離型原子源及び，2.45GHzマイクロ波駆動のラジカル源より低エネルギー水素原子を系に導入する．抵抗値の測定はブリッジ回路を構成してFig.2に示すように原子状水素フラックスをチョッパーで振幅変調することにより，ブリッジ回路に微小な交流的電位差が生じる．これをロックインアンプで同期検出することにより，高感度の抵抗値変化の測定を行う．