[10p-PA5-1~13] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[10p-PA5-7] Fabrication of Multilayer Film by Porosity Modulation of Porous Alumina

〇Shinya Ogawa¹, Kiyoshi Kawamoto¹ (1.Hachinohe Inst. of Tech.)

Keywords:optical thin film, anodization, alumina

陽極酸化ポーラスアルミナは、アルミニウムを電解液中で処理することで得られる酸化被膜である。その酸化被膜は、空孔が規則的に配列された構造を持つ。空孔率（空孔の体積の割合）は陽極酸化時の印加電圧などで変化するため、屈折率などの物性値も制御することができる。本研究では、作製条件を変化させることでポーラスアルミナの空孔率を変調させ、単一材料による多層膜の作製を目指す。