[10p-S221-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[10p-S221-7] 新構造ピエゾエレクトロニックトランジスタの低リーク設計とそのSRAMへの応用

〇塩津 勇作¹、山本 修一郎¹、舟窪 浩²、黒澤 実³、菅原 聡¹ (1.東工大未来研、2.東工大材料系、3.東工大電気電子系)

キーワード：ピエゾエレクトロニックトランジスタ