[10p-W323-1~16] 6.4 Thin films and New materials

△ [10p-W323-9] Pulsed-laser deposition of ZrH₂ films: control of the hydrogen nonstoichiometry

〇Akito Nishi¹, Kohei Yoshimatsu¹, Akira Ohtomo^1,2 (1.Tokyo Tech., 2.MCES)

Keywords:zirconium hydride, PLD, Hydrogen nonstoichiometry

金属水素化物は，高温超伝導体やヒドリド伝導体の発見を契機に近年注目されている．しかしながら，物性研究はこれまでバルク大が主な対象であり，薄膜については合成条件の検討が必要である．これまで我々はパルスレーザ堆積法を用いた薄膜作製を報告してきた．本研究では，水素雰囲気下で定比組成のZrH₂薄膜を作製することを目的とした．幅広い水素不定比と非平衡条件下の水素組成の制御について明らかにしたので報告する．