[10p-W351-1~9] CS.8 9.4 熱電変換、12.3 機能材料・萌芽的デバイス、合同セッションＭ「フォノンエンジニアリング」のコードシェアセッション

[10p-W351-5] ナノ構造化によるシリコン薄膜のZT増強と平面型熱電デバイス開発

〇柳澤 亮人¹、Ruther Patrick²、Paul Oliver²、野村 政宏^1,3 (1.東大生研、2.フライブルク大、3.JSTさきがけ)

キーワード：熱電変換、シリコン、エナジーハーベスタ

ナノ構造化によるシリコン薄膜の熱電変換性能指数の増強とその薄膜材料を用いた平面型熱電デバイスの開発について報告する。熱フォノンの平均自由行程を考慮したナノ構造設計によりシリコン薄膜の熱伝導率を低減しZTの向上を行った。リソグラフィベースのプロセスによりナノ構造化薄膜を用いたデバイスを作製、ナノ構造化による性能向上を実現した。さらに低消費電力用途のハーベスタ応用に向けて、ナノインプリントリソグラフィを用いた大面積・高出力なデバイスの開発を行った。