[10p-W541-1~20] 15.4 III-V-group nitride crystals

[10p-W541-8] Input Grating Coupler for AlN Optical Waveguide Wavelength Conversion Device

〇(M1)Yoshiki Morioka¹, Shuhei Yamaguchi¹, Kanako Shojiki², Yusuke Hayashi³, Hideto Miyake^2,3, Keishi Shiomi¹, Yasufumi Fujiwara¹, Masahiro Uemukai¹, Ryuji Katayama¹ (1.Grad.School of Eng., Osaka Univ., 2.Grad.School of Eng., Mie Univ., 3.Grad.School of RIS, Mie Univ.)

Keywords:AlN, Grating Coupler, optical waveguide

これまで我々は深紫外光発生用AlN極性反転積層チャネル導波路第2高調波発生デバイスの設計について報告した。しかし、その導波路断面は微小であり端面結合によるレーザ光入射は困難である。光導波路型グレーティング結合器を用いれば、その開口の大きさから端面結合に比べ入射ビームの位置合わせが格段に容易となる。本研究では、AlNスラブ導波路にレーザ光を結合させる入力グレーティング結合器の設計と試作結果を示す。