[10p-W934-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[10p-W934-12] クリーンルームの動的シミュレーションとバーチャルメトロロジーによる温度制御

〇甲斐 春貴¹、熊谷 祐希¹、阿部 成海¹、岩村 航²、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：半導体、温度制御、シミュレーション

現在のクリーンルームの温度制御の方法は、CR全体のファンを同量で制御しているため余分な電力を消費しやすい。しかし今回提案する手法を用いることで、温度管理の必要な箇所のみ制御できるため消費電力を抑えることができる。
また、空気の循環効率を上げるための実験も行った。