[10p-W934-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[10p-W934-3] パルス光伝導法による非破壊界面準位密度測定の開発

〇松山 浩輝¹、葛川 翔太郎¹、阿部 成海¹、熊谷 祐希¹、中山 雄介²、中村 駿佑²、永友 航太郎²、小林 一博¹、久保田 弘¹、橋新 剛¹、吉岡 昌雄² (1.熊大院自、2.熊大工)

キーワード：界面準位