[10p-W934-1~12] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[10p-W934-7] 境界条件変調による領域分割デバイス・シミュレーション

〇松澤 一也¹、阿部 真利¹、小田 嘉則¹、田中 貴久^1,2、内田 建^1,2 (1.慶大TRDEC、2.慶大電子工)

キーワード：デバイス・シミュレーション、領域分割、境界条件

デバイスを複数領域に分割する。分割面において、隣接する領域の物理量を、自領域の境界条件とする。反射型から固定境界条件に動的に変調しながら、各領域を逐次計算する。これにより、単一の計算機で、大規模な構造のデバイス・シミュレーションを可能とした。