9:15 AM - 9:30 AM
△ [11a-M113-2] Characterization of Leakage Current in Diamond pn+ Junction Using EBIC Technique
Keywords:Diamond, Leakage Current, EBIC
ダイヤモンドpn接合における主な電流リークパスは転位をはじめとする結晶欠陥だと考えられているものの、これを実験的に検証した例はない。本研究ではダイヤモンドpn+ダイオードのリーク電流評価をEBIC法を用いて行った。EBIC測定から、デバイス中に欠陥由来と思われるホットスポットが検出された。その密度とリーク電流の間には強い相関があることから、このホットスポットがリークパスに深く関係していると考えられる。