The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

Presentation information

Oral presentation

6 Thin Films and Surfaces » 6.2 Carbon-based thin films

[11a-M113-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

Mon. Mar 11, 2019 9:00 AM - 11:45 AM M113 (H113)

Norio Tokuda(Kanazawa Univ.), Toshiharu Makino(産総研)

9:15 AM - 9:30 AM

[11a-M113-2] Characterization of Leakage Current in Diamond pn+ Junction Using EBIC Technique

Takuya Murooka1, Toshiharu Makino2, Masahiko Ogura2, Hiromitsu Kato2, Satoshi Yamasaki2, Takayuki Iwasakai1, Julien Pernot3, Mutsuko Hatano1 (1.Tokyo Tech., 2.AIST, 3.Inst. NEEL/CNRS)

Keywords:Diamond, Leakage Current, EBIC

ダイヤモンドpn接合における主な電流リークパスは転位をはじめとする結晶欠陥だと考えられているものの、これを実験的に検証した例はない。本研究ではダイヤモンドpn+ダイオードのリーク電流評価をEBIC法を用いて行った。EBIC測定から、デバイス中に欠陥由来と思われるホットスポットが検出された。その密度とリーク電流の間には強い相関があることから、このホットスポットがリークパスに深く関係していると考えられる。