11:45 〜 12:00
[11a-M121-11] HSQを用いたInGaAsナノシート構造作製法評価
キーワード:半導体、ナノシート
ナノシート架橋構造作製には、チャネルリリースの際に歩留まりが悪いことが問題としてある。今回の発表は、チャネルリリースの条件出しに結晶成長を逐一行うのではなく、ナノシートの両端をHSQによって固定することで、条件出しを簡便に行ったことを報告する。
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術
2019年3月11日(月) 09:00 〜 12:15 M121 (H121)
加藤 正史(名工大)
11:45 〜 12:00
キーワード:半導体、ナノシート