[11a-PA5-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11a-PA5-10] NF₃凝縮SiO₂基板へのDC放電生起電子照射によるシリコン酸化膜のクライオエッチング

〇熊谷 仁志¹ (1.山梨大工)

キーワード：エッチング、低温、プラズマ