[11a-W242-1~7] Recent Progress of Energy Harvesting

[11a-W242-7] Industrialization of Vibrational MEMS Electret Energy Harvesters

〇Hiroyuki Mitsuya¹, Hisayuki Ashizawa¹, Hiroaki Honma², Hiroyuki Fujita², Gen Hashiguchi³, Hiroshi Toshiyoshi² (1.Saginomiya Inc., 2.Univ. of Tokyo, 3.Shizuoka Univ.)

Keywords:viblational energy harvester, MEMS, Industrialization

我々のグループでは，ＭＥＭＳ（Microelectromechanical Systems）プロセスと親和性が高く，狭ギャップ，高アスペクトの櫛歯電極の側壁を均一にエレクトレット化する手法を独自に構築しており，環境振動から高効率的にエネルギー回収する振動発電デバイスの研究開発を進めている。この成果をもとに，２０２１年に振動エナジーハーベスタの上市を予定している。