[11a-W641-1~10] 6.3 Oxide electronics

△ [11a-W641-7] Fabrication of all solid-state thin-film lithium-ion battery composed of V₂O₅ cathode

〇Shogo Kanazawa¹, Tomoaki Baba¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:lithium ion battery, V2O5, thin-film battery

全固体リチウムイオン薄膜電池は，エネルギー密度が高く小型化が可能であり，また他の薄膜素子と同様MEMSや半導体プロセスと整合性を有していることから，センサデバイスの駆動源やエナジーハーベスタの電力貯蔵への応用が期待されている．本研究では，室温下での成膜と大気中での充放電動作が可能な電極および電解質材料として，V₂O₅，LiPON，Siのアモルファス薄膜から構成される全固体リチウムイオン薄膜電池を作製し，その充放電特性を評価した．