[11p-M116-1~15] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[11p-M116-11] Analysis of membrane break process in atomic force microscopy (II)

Hiyoyuki Ishihara^1,2, 〇Fujio Wakaya¹, Katsuhisa Murakami², Masayoshi Nagao², Yuji Miyato¹, Hayato Yamashita^1,3, Satoshi Abo¹, Masayuki Abe¹ (1.Osaka Univ., 2.AIST, 3.PRESTO JST)

Keywords:atomic-force microscopy

原子間力顕微鏡(AFM)を用いて薄膜試料(脂質二重膜など)を観測する際に，薄膜試料が破壊される現象を経験している．この現象は，薄膜試料の厚さやサイズやヤング率，測定に用いるカンチレバーのバネ定数や探針径，さらに，測定時の周波数や振幅など,非常に多くのパラメータに依存したものである. しかし, これら多くのパラメータを考慮し,具体的に試料破壊の条件を求める理論や実験の報告はない．本研究では，様々な材料や膜圧のフリースタンディング膜を実際に AFM プローブで破壊するときの力を計測し，理論と比較検討する．