[11p-M116-1~15] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[11p-M116-2] Development of dew-point hygrometer using tunable diode laser absorption spectroscopy

Shinichi Honda¹, Kenichi Itabashi¹, Koji Hashiguchi², 〇Hisashi Abe² (1.Shinyei Technology Co. Ltd., 2.AIST)

Keywords:Li-ion battery, Humidity, ppm

Liイオン電池等のハイテク製品製造分野で必要とされる、低湿度領域での高精度・高応答の湿度計測実現のため、波長可変半導体レーザー分光法(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)を用いた計測器(TDLAS露点計)の開発を行っている。TDLAS露点計は原理上、レーザー光路上に存在する全ての水分を測定してしまうため、低湿度領域では大気中妨害水分の影響が深刻となる。この課題の対応策について報告する。