[11p-M136-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[11p-M136-12] Germaniumの高圧酸素熱酸化機構と形成されたGeO₂膜の性質

王 旭¹、西村 知紀¹、〇鳥海 明¹ (1.東大院工)

キーワード：ゲルマニウム

Geの高圧酸化機構について実験結果に基づいて議論し、形成されたGeO2膜の性質について大気圧酸化の場合と比較して議論する。