[11p-PB1-1~40] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[11p-PB1-27] Design and fabrication of lithography-free mid-infrared perfect absorbers

〇Takuhiro Kumagai¹, Naoki To¹, Yoshiaki Nishijima² (1.YNU Sci. and Eng., 2.YNU Eng.)

Keywords:metasurface

現在、様々な波長帯における完全吸収体の研究がさかんに行われている。我々は、金属-誘電体-金属ナノ構造（MIM）型プラズモニック完全吸収体について、構造設計や赤外光源・検出器への応用を目指して研究を行っている。しかし、このような吸収体はEB描画などのリソグラフィ工程を経る必要があり、大面積化が困難である。そこで、リソグラフィフリーな吸収体が注目されている。本研究ではAu-SiO₂-Si-Auの四層型吸収体に着目し、時間領域差分(FDTD)法によるシミュレーションと蒸着を駆使したサンプル作製と光学的評価を行ったので報告する。