PDF ダウンロード スケジュール 36 いいね! 0 コメント (0) 15:45 〜 16:00 [11p-W541-9] スパッタリング法により形成したp型GaN薄膜の深い準位の評価 〇柴原 啓太1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1,2 (1.東大生研、2.JST-ACCEL) キーワード:DLTS、GaN、スパッタリング