[11p-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-W641-6] 機械学習を用いたスパッタ率予測

〇幾世 和将¹、木野 日織²、浜口 智志¹ (1.阪大工、2.物材機構)

キーワード：機械学習、スパッタ率