[12a-M121-1~9] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12a-M121-8] パワーデバイス応用に向けたダイヤモンド/Cu直接接合の形成

〇梁 剣波¹、神田 進司¹、桝谷 聡士²、嘉数 誠²、重川 直輝¹ (1.大阪市大院工、2.佐賀大院工)

キーワード：ダイヤモンド、ダイヤモンド/Cu直接接合、ヒートシンク