[12a-PB1-1~9] 8.1 プラズマ生成・診断

[12a-PB1-9] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマ特性の計測-プラズマ基礎特性のガス流量依存性-

〇大野 祐也¹、永井 雅之¹、鈴木 駿¹、小田 昭紀¹、太田 貴之²、上坂 裕之³ (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)

キーワード：四重極質量分析、ラングミュアプローブ、テトラメチルシラン

Si含有DLC膜は各種DLC膜の中でも低い摩擦係数を示し，低摩擦性が要求される自動車部品として期待されている．この時Si含有DLC成膜にTMSガスが用いられているが，TMSプラズマ中の反応過程について未解明なものが多く，特に解離過程については明らかになっていない．本研究ではAr/TMSガスを用いて，容量結合型RFプラズマを生成し本プラズマ中の特性について診断を行ったので，その結果について報告する．