[12a-W641-1~14] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[12a-W641-4] Plasma-induced Modification of Silver Nanoparticles for Plasmonic Sensing Devices

〇(D)Kei Hosomi¹, Koichi Ozaki¹, Katsumi Takahiro¹, Fumitaka Nishiyama², Shin Yokoyama² (1.Kyoto Inst. Tech., 2.Hiroshima Univ.)

Keywords:plasmonics, Ag nanoparticles, Ar plasma

銀ナノ粒子の局在型表面プラズモン共鳴の屈折率依存性を利用した光学応答センシングにおいて、アルゴンプラズマ処理による検知能の高感度化を報告する。