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一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:45 W641 (W641)

竹田圭吾(名城大)、鈴木陽香(名大)

10:00 〜 10:15

△ [12a-W641-5] Ar/水エタノール混合蒸気大気圧プラズマによる
ポリテトラフルオロエチレンの表面改質

〇(B)谷雅彦¹、矢島英樹²、古田寛¹、八田章光¹ (1.高知工科大学、2.オーク製作所)

キーワード：大気圧プラズマ、PTFE