[9a-M114-1~12] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[9a-M114-2] On Dislocation Control at the Time of Rapid Temperature Elevation in Minimal Laser Heating Furnace

〇kazushige sato^1,3, Takashi Chiba^1,3, Masao Terada^1,3, Shinichi Ikeda^1,2, Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Sakaguchi E.H VOC Corp.)

Keywords:Minimal Fab, Laser Heating

ミニマルレーザ加熱装置おいて、これまで転位について2種類のレーザを重ねることで制御できることを過去に報告したが、詳細に調べられていない。そこで今回は、一方のレーザ出力を変えることにより、急速昇温時の温度分布を意図的に変え転位の発生状況を調べた。転位の発生を抑えるには、リング形レーザが必要であること、更にその出力も適切な値があることが分かった。