The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

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9 Applied Materials Science » 9.4 Thermoelectric conversion

[9a-PA1-1~13] 9.4 Thermoelectric conversion

Sat. Mar 9, 2019 9:30 AM - 11:30 AM PA1 (PA)

9:30 AM - 11:30 AM

[9a-PA1-1] Effectiveness of Polyimide Insulating Film in 3ω Method (Thermal Conductivity Measurement) and Evaluation of Interfacial Thermal Resistance

Ryotaro Mori1, Takuya kurokawa1, Saburo Tanaka2, Koji Miyazaki3, Masayuki Takashiri1 (1.Graduate School of Engineering, Tokai Univ., 2.School of Engineering, Nihon Univ., 3.Graduate School of Engineering, Kyushu Institute of Tech.)

Keywords:thermoelectric materials, thermal conductivity, 3omega method

3ω法(熱伝導率測定)に必要な絶縁膜にはSiO2膜がよく用いられるが,大型の設備を使用しての長時間成膜が必要となる.そこで本研究では,成膜が簡便なPolyimide薄膜をスピンコート法で作製し,3ω法におけるPolyimide絶縁膜の有効性と,同時に界面熱抵抗も評価する.Bi2Te3薄膜は膜厚を変化させて熱伝導率を測定した.測定した熱伝導率から熱抵抗を算出し,膜厚に対してプロットすることで界面熱抵抗を評価した.