[9a-PA1-1~13] 9.4 Thermoelectric conversion

△ [9a-PA1-1] Effectiveness of Polyimide Insulating Film in 3ω Method (Thermal Conductivity Measurement) and Evaluation of Interfacial Thermal Resistance

〇Ryotaro Mori¹, Takuya kurokawa¹, Saburo Tanaka², Koji Miyazaki³, Masayuki Takashiri¹ (1.Graduate School of Engineering, Tokai Univ., 2.School of Engineering, Nihon Univ., 3.Graduate School of Engineering, Kyushu Institute of Tech.)

Keywords:thermoelectric materials, thermal conductivity, 3omega method

3ω法(熱伝導率測定)に必要な絶縁膜にはSiO2膜がよく用いられるが，大型の設備を使用しての長時間成膜が必要となる．そこで本研究では，成膜が簡便なPolyimide薄膜をスピンコート法で作製し，3ω法におけるPolyimide絶縁膜の有効性と,同時に界面熱抵抗も評価する.Bi2Te3薄膜は膜厚を変化させて熱伝導率を測定した．測定した熱伝導率から熱抵抗を算出し，膜厚に対してプロットすることで界面熱抵抗を評価した．