[9a-PA3-1~10] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

[9a-PA3-3] Optimum Design of Multi-stage Planar Unileg Thermoelectric Generator Using Si Nanowire

〇Kaito Oda¹, Keisuke Shima¹, Motohiro Tomita¹, Takeo Matsuki^1,2, Takanobu Watanabe¹ (1.Waseda Univ., 2.AIST)

Keywords:thermoelectric generator, semiconductor, Si nanowire

近年、高い電気伝導率を維持したまま熱伝導率が低く抑えられ、既存のCMOSプロセスで熱電デバイス製造を可能にする、シリコンナノワイヤ（Si-NW）が新熱電材料として注目を集めている。今回我々は、高集積熱電デバイスの作製に向けて、N型Si-NWのみを用いたユニレグの多段熱電発電デバイス構造の有限要素シミュレーションを実施し、発電性能を最大化する最適条件について調査した。