The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

Presentation information

Oral presentation

12 Organic Molecules and Bioelectronics » 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

[9a-S421-1~12] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

Sat. Mar 9, 2019 9:00 AM - 12:15 PM S421 (S421)

Toshihiko Noda(Toyohashi Univ. of Tech.), Koji Toma(TMDU)

11:45 AM - 12:00 PM

[9a-S421-11] Fabrication of active-matrix oxide TFT array for biosensor using a solution process

Sho Kuriyagawa1, Tue Phan1, Tatsuya Shimoda1, Yuzuru Takamura1 (1.JAIST)

Keywords:oxide TFT array, solution process, biosensor

多項目測定や、位置依存性、濃度イメージングの目的で、バイオセンサをアレイ化する研究が様々な手法で行われている。しかし,大面積への応用にはコストが高い欠点がある。機能性インクや印刷技術を用いて半導体などの材料をパターニングする溶液プロセスは、比較的大面積・安価に能動デバイスを作製することができる。今回は溶液プロセスにより、バイオセンサ用酸化物TFTアクティブマトリックスアレイの作製を試みたので報告する。