[9p-M113-1~8] 6.2 Carbon-based thin films

[9p-M113-6] Effect of negative pulse voltage on microstructure of a-C:H films prepared by plasma-based ion implantation and deposition

〇Setsuo Nakao¹, Junho Choi², Tsutomu Sonoda¹ (1.AIST, 2.Univ. Tokyo)

Keywords:diamond-like carbon, plasma based ion implantation, Raman spectroscopy

本報告では、炭化水素ガスとしてアセチレン(C2H2)を用い、バイポーラ型PBII装置によりa-C:H膜を作製し、主に負パルス電圧と微細構造との関連を調べた。膜の微細構造の変化はラマン分光法により評価した。また、水素含有量もラマンスペクトルから見積もった。機械特性の変化はナノインデンターにより評価した。