[9p-PA1-1~28] 6.4 Thin films and New materials

[9p-PA1-17] Development of Ultraviolet sensor Using BaF₂ Thin Film by Pulsed Laser Deposition Method

〇Seiya Kato¹, Kentaro Suzuki¹, Jun Otani¹, Masahiko Kase², Shingo Ono¹ (1.Nagoya Inst., 2.USHIO INC.)

Keywords:ultraviolet sensor, photoconductivity, pulsed laser deposition

近年の真空紫外光源の高出力化に伴い、長時間安定にモニタリングするためのセンサの開発が求められている。我々はこれまでに真空紫外光照射に対して高い耐久性がありワイドバンドギャップ材料であるフッ化物を用いて光伝導型の真空紫外光センサの開発を行ってきた。本発表では、パルスレーザー堆積法によって作製したBaF₂薄膜に櫛形電極を蒸着しセンサ性能の評価を行ったのでこれを報告する。