[9p-PA1-1~28] 6.4 Thin films and New materials

[9p-PA1-4] Manufacturing of Optical Filter Possessing Stepwise Spectral Transmittance

〇Kazuki Sato¹, Hiroaki Higuchi¹ (1.Asahi Spectra)

Keywords:optical thin film, transmittance, sputtering

光学フィルターは、光エレクトロニクスや光通信分野等の発展に伴い、重要性を増している。主な光学フィルターは、屈折率の異なる二種の誘電体薄膜の交互多層膜により形成され、各層の厚みを変えることで所望の光学特性を得る。光学特性を満足するには、超多層膜（数十～数百層）の構造や精密な膜厚制御が必要となってきた。今回、ステップ状の分光透過率をもつ光学フィルターを作製したので報告する。